製品紹介
課題の解決に役立つ製品を開発し、時代のニーズを捉え新しい価値を生み出し続けています。
製品一覧Products List
- ウェーハエッジ自動欠陥検査装置RXW-1200
- Siウェーハ製造・デバイス製造工程で、ウェーハエッジ部の欠陥検出と分類、要求部位の寸法計測を行うインライン検査装置
半導体・製造工程
端部面取り / 平面研削 / 平面研磨 / 洗浄 / 乾燥 / PW最終検査 / エピ、SOI / 成膜 / リソグラフィ / CMP / エッジトリミング / 貼り合わせ / シニング
- デバイス用裏面検査装置BMW-1200
- デバイスプロセスでウェーハ裏面に発生する欠陥・異物を高感度に検出、抽出欠陥の微小三次元形状計測が行える検査装置
半導体・製造工程
成膜 / リソグラフィ / エッチング / CMP
- エッジ・表裏面複合検査装置RXM-1200
- Siウェーハ製造(ポリッシュ・エピ）工程で、エッジ・表裏面に発生する様々な欠陥をトータルに検査する複合検査装置
半導体・製造工程
端部面取り / 平面研削 / 平面研磨 / 洗浄 / 乾燥 / PW最終検査 / エピ、SOIなど
- ピンホール検査装置RXP-1200
- Si単結晶引上げ工程で発生するェーハ内部・表裏面のピンホール欠陥を赤外光を用いて検出する自動検査装置
半導体・製造工程
単結晶引上げ / ブロック切断 / 平面研磨 / PW最終検査
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